供電電源

AC220V, 50Hz

樣品尺寸

zui大直徑 8" (~200mm)

腔體材質(zhì)

不銹鋼

上蓋（特殊要求）

數(shù)量：2個(gè)（其中1個(gè)備用，只是蓋子，不含其它）石英材質(zhì), 便于觀察旋涂狀態(tài)

轉(zhuǎn)速

0~8000rpm 可調(diào)

加速度

100~5000rpm/s

速度分辨率

1rpm

操作模式

觸屏控制

注射泵裝置

6通道獨(dú)立控制注射泵，但注射泵的控制軟件和勻膠機(jī)兼容

適用注射器規(guī)格：1ml - 60ml

zui大行程：90mm

線速度范圍：7.94um/min-79.4mm/min

行程控制精度：誤差≤±0.5%（行程≥zui大行程的30%）

額定線性推力：>90N

滴液裝置（特殊要求）

l  自動(dòng)和可編程滴液

l  六個(gè)獨(dú)立注射器和滴液孔，無(wú)交叉污染

l  注射器的容量： 5ml到更高

l  其中2 條分配線需要jingque控制：可重復(fù)的分配量，每次zui小分配量：50ul±5ul，這兩條線是用于甲苯溶液。 其他4條線的jingque控制要求稍低，zui小分配量：500ul±50ul，用于辛烷或乙腈溶液

l  管子和注射器需要對(duì)溶劑甲苯、辛烷、乙腈具有很強(qiáng)的耐受性

l  管子和注射器之間的所有連接都要連接良好，不能泄漏

控制軟件（特殊要求）

程序和存儲(chǔ)配方由步驟組成。 每個(gè)步驟至少具有以下可配置參數(shù)：時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、斜率、6條分配線中的每條的分配量和6條分配線中的每條的分配速度。

配方允許循環(huán)步驟的子集..

控制軟件配方的典型示例：

步驟1：注液泵 1 分配 50ul 溶劑

步驟2：立刻，旋涂機(jī)開始以 3000 rpm 旋轉(zhuǎn) 30 秒并停止

步驟3：注液泵 2 分配 200ul 溶劑

步驟4：30 秒后，旋涂機(jī)開始以 3000 rpm 的速度旋轉(zhuǎn)

步驟5：10 秒后，注液泵 3 分配 1ml 溶劑

步驟6：40秒后，旋涂機(jī)停止

步驟7：重復(fù)10 次 步驟 1 至 6

吸盤

4片 (鋁合金，直徑 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm)

真空泵

無(wú)油泵

泵抽速

50 L/min

勻膠機(jī)尺寸

~290mm*365mm*300mm

勻膠機(jī)凈重

~20kg