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快速退火爐的應(yīng)用及硬件更換
日期：2025-10-27 08:22
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摘要：
快速退火爐廣泛應(yīng)用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)，和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應(yīng)力和致密化等工藝當(dāng)中，通過快速熱處理以改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能，技術(shù)指標(biāo)高、工藝復(fù)雜、專用性強(qiáng)。
硬件更換：
1.加熱燈管更換：加熱燈管超過使用壽命或無法點(diǎn)亮?xí)r需進(jìn)行更換。加熱燈管的使用壽命為3000小時(shí)，高溫狀態(tài)下會降低其使用壽命。
2.真空泵油更換：在使用過程中，請每季度固定觀察1次真空油表，當(dāng)油表顯示油量低于1/3時(shí)請?zhí)砑诱婵毡脻櫥偷接捅硪话胍陨稀?br>
3.熱電偶更換：當(dāng)熱電偶測溫不正常或者損壞時(shí)需進(jìn)行更換。熱電偶的正常使用壽命為3個(gè)月，隨環(huán)境因素降低其壽命。
4.O型圈的更換：O型圈表面有明顯破損或者無法氣密時(shí)需進(jìn)行更換，其壽命受外力以及溫度因素影響。
尊敬的客戶：
您好，我司是一支技術(shù)力量雄厚的開發(fā)群體，為廣大用戶提供完整的解決方案和技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品有氧化鋯燒結(jié)爐、石墨烯制備設(shè)備、等離子清洗機(jī)等。本企業(yè)堅(jiān)持以誠信立業(yè)、以品質(zhì)守業(yè)、以進(jìn)取興業(yè)的宗旨，以更堅(jiān)定的步伐不斷攀登新的高峰，為民族自動化行業(yè)作出貢獻(xiàn)，歡迎新老顧客放心選購自己心儀的產(chǎn)品。我們將竭誠為您服務(wù)！
