MPCVD適合的應(yīng)用:

化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石

化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶金剛石自支撐厚膜

化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶金剛石薄膜

化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜

MPCVD產(chǎn)品特點(diǎn)：

 本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；

水冷式基片臺(tái)和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作；

基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到；

真空測(cè)量?jī)x表采用全量程真空計(jì)，可**測(cè)量本底真空和工作氣體壓強(qiáng)；

真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機(jī)械真空泵(極限真空為1Pa)，系統(tǒng)可自動(dòng)控制沉積氣壓；

配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，確保裝置高功率下可長(zhǎng)時(shí)間**穩(wěn)定運(yùn)行；

系統(tǒng)帶15寸觸摸屏，PLC自動(dòng)控制，可設(shè)置溫度或氣壓恒定，可保存復(fù)用多達(dá)20套工藝文件；

全自動(dòng)工藝控制模塊，可以穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體

MPCVD技術(shù)指標(biāo)與特性:

微波系統(tǒng)（法國(guó)Sairem 微波源）	微波頻率	2450±25MHz
	輸出功率	0.6kw~6kw 連續(xù)可調(diào)
	微波調(diào)諧	三銷釘調(diào)配器，模式轉(zhuǎn)換天線
	微波反射保護(hù)	環(huán)形器，水負(fù)載
	微波工作模式	TM013
	微波泄漏	≤ 2 mw/cm2
真空系統(tǒng)	工作氣壓范圍	10~250Torr
	自動(dòng)穩(wěn)壓范圍	40~250Torr
	真空泵	4.4L/s 旋片式真空泵
	系統(tǒng)漏率	<1.0x10-9 Pa?m3 /秒 (通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè))
	腔體保壓能力	每24 小時(shí)壓升小于0.2 乇
	本底極限真空	0.1Pa（7.5 x10-4 Torr)
	真空測(cè)量	品牌薄膜規(guī)
真空反應(yīng)腔	反應(yīng)腔材料及結(jié)構(gòu)	雙層水冷不銹鋼反應(yīng)腔
	真空密封	金屬密封+氟膠圈密封(取樣門)
	反應(yīng)腔內(nèi)徑	直徑140mm
	樣品臺(tái)窗口	105x50mm 長(zhǎng)方形端口，帶O 形氟橡膠圈密封的前門
	觀察窗口	兩個(gè)端口，CF35 大口徑，180°分布
	測(cè)溫窗口	兩個(gè)窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便從反應(yīng)腔上部的 斜角向下檢測(cè)樣品臺(tái)的溫度
樣品臺(tái)	電動(dòng)升降式水冷基片臺(tái) 直徑100mm，高度可調(diào)范圍0～70mm
	鉬基片臺(tái)直徑≥50mm，在5000w, 180Torr 工作狀態(tài)，等離子體火球可覆蓋 整個(gè)基片臺(tái)
	基片臺(tái)溫度 250～1400℃（取決于工藝參數(shù)）
氣路	選用日本進(jìn)口流量計(jì)及流量控制閥
	系統(tǒng)自帶四路MFC
	四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm
測(cè)溫系統(tǒng)	德國(guó)Raytek 紅外測(cè)溫系統(tǒng)，測(cè)溫范圍：300~1300 攝氏度
系統(tǒng)軟件	配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸 屏上完成
	系統(tǒng)支持工程師和操作員兩個(gè)用戶級(jí)別，提供用戶權(quán)限管理功能
	系統(tǒng)自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過(guò)溫過(guò)載，打火等自動(dòng)保護(hù)
	可設(shè)置多達(dá)10 套工藝配方，每套配方有40 行數(shù)據(jù)，生產(chǎn)流程通過(guò)工藝配方自 動(dòng)控制，工藝數(shù)據(jù)可通過(guò)U 盤備份導(dǎo)出
	系統(tǒng)自帶全自動(dòng)抽氣，點(diǎn)火，升溫，降溫等預(yù)設(shè)流程，用戶操作簡(jiǎn)便
	全自動(dòng)溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統(tǒng)操作員的工作量

系統(tǒng)安裝要求

由客戶提供以下安裝條件：

1. 氣體連接

2. 電源

a) 供電電壓：AC 380V(±10％)，頻率50Hz，三相四線，室內(nèi)具有獨(dú)立的地線，

接地電阻效益4Ω，*大功率20kw

b) 建議每臺(tái)設(shè)備在1 米之外的墻上預(yù)留單獨(dú)的空氣開關(guān)，空氣開關(guān)規(guī)格：4P32A

帶漏電保護(hù)。

c) 在進(jìn)行任何連接之前，應(yīng)關(guān)閉系統(tǒng)內(nèi)配電子系統(tǒng)。

3. 冷卻水

客戶需自備工業(yè)冷水機(jī)：

a) 制冷能力：10kw

b) 流量：>30L/min

c) 建議進(jìn)水溫度：20℃，*高進(jìn)水溫度<25℃

d) 入口水壓：≥5.0 kg/cm2 （或揚(yáng)程>45 米）

e) 系統(tǒng)進(jìn)水出水連接：φ19mm（寶塔接頭）

f) 為了避免因腐蝕而出現(xiàn)問(wèn)題，建議使用純凈水

4. 系統(tǒng)控制用壓縮空氣需求

a) 工作氣路：用戶需自備CH4, H2, N2, O2 四路氣體，氣體壓力0.2MPa，氣體純

度由用戶根據(jù)工藝需求自行確定

b) 氣體接口：1/4”VCR 接口

UP-206 全自動(dòng)微波等離子體系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格書

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a) 壓縮干空氣（CDA）：系統(tǒng)需提供CDA 氣路，氣體壓力≥0.4MPa。

b) 接口：φ8 快插接口（氣動(dòng)快插）

5. 設(shè)備排氣

a) 客戶需自備排氣通道，設(shè)備的排氣口通過(guò)KF25 接口連接到排氣通道。

驗(yàn)收

1. 真空泄漏：真空腔漏率＜0.1Torr/12 小時(shí)

2. 微波泄漏：測(cè)量低于2mW/cm2 （微波輸出5kw 時(shí)）

3. 水管漏水：確認(rèn)水管沒(méi)有漏水

4. 系統(tǒng)測(cè)試：系統(tǒng)可正常啟動(dòng)和運(yùn)行，等離子體火球均勻穩(wěn)定

保修

3. 客戶需自行保證氣體、電力和水等公用設(shè)施的工程施工進(jìn)度不影響設(shè)備的安裝調(diào)試，

由此引起的延期不予延長(zhǎng)保修期。